品目 84.86 专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置;本章注释十一(三)规定的机器及装置;零件及附件:-制造单晶柱或晶圆用的机器及

所属章节:第84章 核反应堆、锅炉、机器、机械器具及其零件 · 八位子目 34 个:

HS编码货品名称最惠国税率普通税率
8486.1010   利用温度变化处理单晶硅的机器及装置0%30%
8486.1020   研磨设备0%30%
8486.1030   切割设备0%30%
8486.1040   化学机械抛光设备(CMP)0%30%
8486.1090   其他-制造半导体器件或集成电路用0%30%
8486.2010   氧化、扩散、退火及其他热处理设备0%30%
8486.2021    化学气相沉积装置(CVD)0%30%
8486.2022    物理气相沉积装置(PVD)0%30%
8486.2029    其他---将电路图投影或绘制到感光半0%30%
8486.2031    分步重复光刻机(步进光刻机)0%100%
8486.2039    其他0%100%
8486.2041    等离子体干法刻蚀机0%30%
8486.2049    其他0%30%
8486.2050   离子注入机0%11%
8486.2090   其他-制造平板显示器用的机器及装0%30%
8486.3010   扩散、氧化、退火及其他热处理设备0%30%
8486.3021    化学气相沉积设备(CVD)0%30%
8486.3022    物理气相沉积设备(PVD)0%30%
8486.3029    其他---将电路图投影或绘制到感光半0%30%
8486.3031    分步重复光刻机0%100%
8486.3039    其他---湿法蚀刻、显影、剥离、清洗0%100%
8486.3041    超声波清洗装置0%30%
8486.3049    其他0%30%
8486.3090   其他-本章注释十一(三)规定的机器0%30%
8486.4010   主要用于或专用于制作和修复掩膜版或投影掩膜版的装置---主要用于或专用于装配与封装0%70%
8486.4021    塑封机0%30%
8486.4022    引线键合装置0%30%
8486.4029    其他---主要用于或专用于升降、装卸、0%17%
8486.4031    集成电路工厂专用的自动搬运机器人0%20%
8486.4039    其他0%30%
8486.9010   升降、搬运、装卸机器用(自动搬运设备用除外)0%30%
8486.9020   引线键合装置用0%30%
8486.9091    带背板的溅射靶材组件0%17%
8486.9099    其他0%17%

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